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半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器
- 發(fā)布日期：2023-02-09 10:44:30
- 詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器
半導(dǎo)體晶圓清洗、CVD化學(xué)處理 臭氧氧化處理
晶圓氧化 光刻膠處理 光掩膜 蝕刻工藝 抗蝕劑去除
一、概述
半導(dǎo)體級(jí)臭氧發(fā)生器應(yīng)用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水、半導(dǎo)體、顯像管等制造業(yè)。臭氧分解和所需羥基的形成正好在污染物所處的位置上發(fā)生。通過采用這種方法達(dá)到了工藝上的目標(biāo)，晶圓在一個(gè)被注入了干燥臭氧氣體的工藝腔中，同時(shí)水霧被噴到晶圓的表面。約240g/m3的高濃度臭氧被注入到工藝腔中，而同時(shí)把水以水霧或氣霧的形式噴到旋轉(zhuǎn)晶圓的表面。晶圓的旋轉(zhuǎn)，加上適度的噴水速率，會(huì)產(chǎn)生一個(gè)薄層中，臭氧發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生活性物質(zhì)來清除污染物。
二、主要技術(shù)參數(shù):
